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弁言

Mitchell Hsing在麻省理工学院读接头生时，他和同学们运用芯片行业淘汰下来的开辟，从事着一些前沿接头。他那时就念念，要是每个东谈主王人能领有我方的微型晶圆厂，用来快速制造原型或小批量坐蓐芯片，那该有多棒啊！于是，他创立了InchFab——一家销售售价500万至1500万好意思元的集装箱大小洁净室系统的初创公司。这套系统险些不错完成统共不太先进的晶圆厂能作念的事情。InchFab之是以能如斯紧凑，是因为它使用的硅晶圆比如今价值数十亿好意思元的晶圆厂使用的要小得多。更小的晶圆意味着晶圆厂的开辟不错作念得更小、更低廉。如今，InchFab的客户遍布各人，尤其是在那些探讨新建晶圆厂之前，需要培训芯片制造东谈主才的地区。

Q：InchFab 的创意源自那儿？

Mitchell Hsing：这履行上源于咱们我方在麻省理工学院制造芯良晌际遇的问题。麻省理工学院不错说是宇宙上进行微加工联系接头的最好机构之一，但咱们那时还在使用上世纪80年代的开辟，这些开辟以致需要软盘才调运转。

Inchfab的出身履行上恰是源于这种挫败感。那时我在Martin Schmitdt的团队里，咱们正在接头怎么镌汰微加工的准初学槛。

措置决议是减弱现存芯片处理开辟的尺寸。这么一来，开辟的价钱也不错相应镌汰。我和我的聚拢独创东谈主接头了当一个大型的传统等离子真空室（比如一个50加仑的油桶大小）减弱到一个一升装汽水瓶大小的装配时，物理和化学原搭剪发生何如的变化。

Q：您联想的开辟所要加工的晶圆尺寸有多小？

Mitchell Hsing：名堂率先的名字叫“一英寸晶圆厂”。这不单是是个代号，背后是有原因的：步进光刻机（一种常见的光刻器具）的视场大要是一英寸乘一英寸。但咱们意志到一英寸晶圆存在许多问题。首先，这种晶圆买不到，必须我方切割，而切割自己就有许多问题。是以咱们很快就把尺寸扩大到两英寸，目下咱们依然达到了四英寸（约100毫米）。

Q：当处理尺寸小得多的基底时，物理旨趣是否有所不同？

Mitchell Hsing：主要差异在于等离子切割器具，而决定这些变化的并非基材自己，而是等离子切割腔的尺寸。在等离子切割开辟中，有一种叫作念护套的结构。它实质上是一层沿着腔壁的等离子体，不错保护机器免受自身损坏。护套的厚度与腔体的名义积成正比。当腔体尺寸减弱时，澳门新浦新京2026世界杯中国官方下载名义积相对于体积的影响就愈加权臣。

Q：减弱限度后，有什么事情自己变得更容易了吗？

Mitchell Hsing：有些事情比较容易——比如后端所需的开辟，像真空泵、质料流量适度器、阀门等等。适度较小的体积也更容易。

Q：与平时晶圆厂比拟，InchFab 能作念什么，弗成作念什么？

Mitchell Hsing：咱们的晶圆厂领有与宇宙上任何其他晶圆厂换取的工艺智商，包括光刻、计量、干法刻蚀、等离子体增强化学气相千里积、原子层千里积和湿法工艺。基本上，你能念念到的工艺，咱们可能王人有。

咱们的主要铁心在于光刻本领，包括特征尺寸和速率。特征尺寸与速率成正比，而速率对于坐蓐制造至关蹙迫。在一定的坐蓐限度下，咱们不错使用光刻本领达成半微米的特征尺寸。咱们以致不错作念到更小的，达到几十纳米。然则，开云(中国)一站式服务官方网站写入速率会慢许多，因为这需要用到电子束光刻或压印光刻本领。

Q：几年前你第一次跟我拿起这个念念法时，我并不坚信它能达成。率先东谈主们对这项探讨有哪些反馈？你对那些反对者有什么回话？

Mitchell Hsing：是啊，咱们如故会际遇反对的声息。主要的反对主意是咱们需要使用大尺寸晶圆。他们的论点是：“要是我使用更大的晶圆，我就不错在每片晶圆上制造更多东西。这么一来，每个芯片的价钱就会下落。” 要是你能把一座每月坐蓐1万片晶圆的工场填满，那么这个论点就树立。

但咱们依然解说，这种说法并不树立。你需要凭据盘算商场的需求来选拔合适的晶圆尺寸和晶圆厂产能。最终决定芯片价钱的是晶圆厂的成本终端和产能运用率。这两者必须匹配，而不是晶圆尺寸。这是咱们七年来一直坚捏的。许多时候，咱们（使用更小的晶圆）在价钱上不错与如今的8英寸晶圆代工场相比好意思。

Q：在这种情况下，什么样的客户才调具备价钱竞争力？

Mitchell Hsing：这要视情况而定，但总的来说，咱们目下工作的最大商场是工业、传感、生物医学、航空航天和国防。咱们目下也在拓展其他界限，举例化合物半导体以及与之联系的多样居品和工艺，比如功率和高频射频应用。此外，咱们还在关心量子和光子界限。任何需要定制工艺经由或居品产量自己就不高的应用王人相配相宜咱们。

对于咱们晶圆厂的用途，我再补充少许。目下，咱们业务的很大一部分是东谈主才培养。如今，险些全宇宙王人但愿领有某种模样的原土半导体制造智商。而要达成这少许，莫得比建造像InchFab这么的晶圆厂更好、更经济的阵势了。许多国度王人在尝试建造大型的8英寸或12英寸晶圆厂，这需要五年时候才调建成。但要是建造InchFab，他们不错在五年内启动坐蓐。更蹙迫的是，一朝晶圆厂建成，他们就需要试验有素的职工来运营。因此，咱们为晶圆厂提供培训课程。这些课程以我也曾在麻省理工学院学习的课程为底本，但我联想的课程让学员约略躬行调遣统共配方，让他们我方去犯错。这才是学习的真理。

Q：你以为五年后 InchFab 会发展成什么神色？

Mitchell Hsing：咱们委果念念作念的，是让制造本领民主化——镌汰准初学槛，让每个东谈主王人能参与制造，或者至少能参与其中。我以为，目下铁心微不雅界限改进的，是东谈主们获取微加工智商的路子。我敢保证，要是东谈主们领有这些智商，他们就能念念出一些夙昔从未有东谈主念念过的主见。

（开端：IEEE）

*免责声明：本文由作家原创。著述内容系作家个东谈主不雅点，半导体行业不雅察转载仅为了传达一种不同的不雅点，不代表半导体行业不雅察对该不雅点赞同或相沿，要是有任何异议，宽贷联系半导体行业不雅察。

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